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充実のサポート・サービスでお客様をバックアップ

Excimer Lase Repair社で修理・再生したサイマーレーザー部品の販売およびサポートサービスを提供します。

 

対応モデル:
・ELS-5x10
・ELS-6x10
・ELS/NL-7x00
(国内部材在庫リスト)

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部品交換トラブル対応データ解析
エンジニアはお客様指定場所にて作業を行い、アフターフォローまで対応

コアモジュール
放電チェンバー / 狭帯域化モジュール / 波長安定化モジュール

消耗品
アウトプットカプラー / ビームスプリッター / F2トラップ

サポートモジュールおよび部品・各種保守ツール
ブロワーモーターコントローラ / HVPS / 冷却モジュール / 真空ポンプ / 各24V直流電源 / コントロールモジュール内基板 / チェンバー圧力センサー / ガスマニホールド圧力センサー / 真空ポンプ / 真空圧力センサー / アクチュエーター / パ-ティクルフィルター / ウィンドウキット / ベアリングキット /コミュテーションモジュール / コンプレッションヘッドモジュール

ELR社について
OEM部品の修理再生 再生した部品の性能検査を実施 再生部品はOEMと同じ保障規定を適応

ステッパー部品・中古品 販売
エキシマステッパーおよびi線ステッパー内の各種基板 光学部品再生取次

お気軽にお問い合わせください。0957-49-6100受付時間 9:00-17:00 [ 土・日・祝日除く ]