国内部材在庫リスト (ELS-5K, ELS-6K)
| Parts Name | ELS-5K | ELS-6K | |
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| コアモジュール | レーザー放電チェンバー 狭帯域化モジュール 波長安定化モジュール |
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| 消耗部品 | アウトプットカプラー 20% ビームスプリッター F2トラップ |
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| サポートモジュール | ブロワーモーターコントローラー HVPS コミュにテーションモジュール コンプレッションヘッドモジュール 冷却モジュール 真空ポンプ |
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| サポート部品 | 各24V直流電源 コントロールモジュール内基板 チェンバー圧力センサー ガスマニホールド圧力センサー 真空圧力センサー アクチュエータ パーティクルフィルター ウィンドウキット ベアリングキット |
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