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Epitaxial Products
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エピタキシャル生産のトータルサポート

装置・部品の提供から技術の提供まで、お客様のエピタキシャル生産をトータルサポートいたします。


Silica Coating



Protection from Metal Contamination
メンテナンス後の金属汚染を低減しメンテナンス後のリカバリーを短縮

概要
・SiO2 totalthickness : 0.5um
・Heat resistance : 900 degC



Wafer Pix



CCD kit for Visible Inside Chamber
高温炉内1200Cプロセスの様子を確認可能

カタログ

特徴・機能
・専用ケースにより持ち運びが可能
・既存ポートを利用した簡単取り付け
・PC接続でローカル確認も可能
・ハードディスク録画
高画質モード:2,520hr
標準モード:5,260hr

キット内容
・7インチLCD
・1TB HDD
・取付ブラケット
・CCDカメラ
・冷却シース
・専用ケース
・マニュアル


Rotation Checker



Rotation Checker
生産機を停止すること無く予備品の動作確認が可能


Features
・200mm、300mm兼用
・簡単タッチパネル操作
・リフト上下動作確認
・ホーミング動作確認
・動作確度の表示
・連続動作シーケンス機能
・加圧リークチェック機能
・レーザー信号による偏芯確認機能

キット内容
・コントロールボックス
・専用スタンド安定保持でメンテナンスも容易
・リークチェック
・キット
・偏芯チェック
・キット


C-Cube



77,78 Replacement Controller

バッチ炉の延命および拡張が可能な代替コントローラー

カタログ

特徴・機能
・対象機:AMC7810/20、P-7700ML/AL
・標準コネクター互換
・ヘルプ機能搭載
・信号ロギング、SPC機能
・ユーザーI/O信号追加可能
・ガスパネル系統図動作表示

説明
*C-Cubeはサポートが困難になった標準コントローラーを代替・拡張し、多機能なデータ管理や使いやすいUIで実績多数有り


Edge Zoom



Edge Zoom

Edge Zoomはプロセス中のウェハポジションを計測します

特徴・機能
特殊フィルターを用いたCCDカメラで1100Cプロセス中のウェハエッジを撮影
・ポケットの隙間を計測しウェハのポジションを数値化
・ローテーションの回転実測値を計測し報告
・データはSQL DBに保存されリモートアクセス可能

P1
P1
T1
T1
T2
T2
T3
T3
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TCS供給システム

TCS液を気化する気化器(蒸発器)と、気体TCSを再凝縮させる凝縮器を主体に構成され、ローリー車で供給されるTCSの受入払出し設備や湿式除害装置までパッケージング可能です。 複数台のEP炉が任意のタイミングで稼働しても、それに追随して高精度に濃度調整されたTCS/H2混合ガスを送気します。

お気軽にお問い合わせください。0957-49-6100受付時間 9:00-17:00 [ 土・日・祝日除く ]