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充実のサポート・サービスでお客様をバックアップいたします。
枚葉、バッチエピ成膜装置を所有し、デモ検証や成膜サービスをご提供。
また、国内外の現場で培った長年の経験を活かし、グローバルにお客様のエピ生産現場をサポートいたします。

装置立上げ作業／装置移設作業／コンバージョン作業／顧客特別改造／トラブル対応／各種トレーニング／プロセス　デモ・サポート／エキシマレーザーサポート／フィールドサポート／デモ

1. Epitaxial Demonstration and Development
　エピ生産の国内外の現場で培った長年の経験を活かし、
　グローバルにお客様の生産現場をサポートします。

装置製造

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装置立ち上げ

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アフターサポート

・ハード、プロセスのトラブル対応
・工場内、国内外工場間移設作業
・システムコンバージョン（常圧・減圧）
・顧客特別仕様に基づく改造
・改善プログラムの提案、サポート
・常駐サポート、契約サポート
・各種トレーニング
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2. フィールド・サポート
　米国Excimer Laser Repair Corporation（ELRC）と日本国内での販売および
　サービス契約を締結し、サイマーレーザーの再生部品とメンテナンスを提供します。

部品コストの低減　
・ELRCは、サイマーレーザーの部品及び機器の修理再生及び販売とサービスを世界展開
・ELRCが現在対応する装置は、ELS-5000, ELS-6000装置

お客様向けトレーニング実施　
・エピクルーはサイマーレーザー保守トレーニングを提供可能
・お客様のサイマーレーザー保守コストをより低減します

メトロロジーツールの販売　
・ポータブル圧力計測デバイス
・コースビームアライメントデバイス
・パワーメーター校正デバイス
・自動化ソフト

<対応部品>

・消耗部品
放電チェンバー／狭帯域化モジュール／波長安定化モジュール

・非消耗部品
コントロールモジュール／サーキットボード／パルスパワーモジュール／その他
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