• エピタキシャル・ソリューション
  • 顧客サポート・サービス
  • システム・ソリューション
  • お問合せはこちら

充実のサポート・サービスでお客様をバックアップいたします。

枚葉、バッチエピ成膜装置を所有し、デモ検証や成膜サービスをご提供。
また、国内外の現場で培った長年の経験を活かし、グローバルにお客様のエピ生産現場をサポートいたします。

装置立上げ作業/装置移設作業/コンバージョン作業/顧客特別改造/トラブル対応/各種トレーニング/プロセス デモ・サポート/エキシマレーザーサポート/フィールドサポート/デモ

1. Epitaxial Demonstration and Development

 エピ生産の国内外の現場で培った長年の経験を活かし、
 グローバルにお客様の生産現場をサポートします。

装置製造

矢印

装置立ち上げ

矢印

アフターサポート

・ハード、プロセスのトラブル対応
・工場内、国内外工場間移設作業
・システムコンバージョン(常圧・減圧)
・顧客特別仕様に基づく改造
・改善プログラムの提案、サポート
・常駐サポート、契約サポート
・各種トレーニング

img_support1

2. フィールド・サポート

 米国Excimer Laser Repair Corporation(ELRC)と日本国内での販売および
 サービス契約を締結し、サイマーレーザーの再生部品とメンテナンスを提供します。

部品コストの低減 
・ELRCは、サイマーレーザーの部品及び機器の修理再生及び販売とサービスを世界展開
・ELRCが現在対応する装置は、ELS-5000, ELS-6000装置

お客様向けトレーニング実施 
・エピクルーはサイマーレーザー保守トレーニングを提供可能
・お客様のサイマーレーザー保守コストをより低減します

メトロロジーツールの販売 
・ポータブル圧力計測デバイス
・コースビームアライメントデバイス
・パワーメーター校正デバイス
・自動化ソフト

<対応部品>

・消耗部品
放電チェンバー/狭帯域化モジュール/波長安定化モジュール

・非消耗部品
コントロールモジュール/サーキットボード/パルスパワーモジュール/その他

img_support2