| 金属汚染を低減し、メンテナンス後のリカバリーを短縮します。 |
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＜概要＞
・SiO2 total thickness : 0.5um
・Heat resistance : 900 degC |
| 待機中の無駄な電気/窒素を停止し、コスト低減に寄与します。 |
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＜浪費例＞
25 wafers 60um process by 2ch system
＜特徴・機能＞
・リモートフレームへ設置し、信号ケーブルを入れ替えるだけの簡単インストール。
・ロードロック排気機バブル、ポンプを自動制御します。
・コスト低減値を表示
（電気低減コスト積算値/窒素低減コスト積算値） |
| 多段階制御の電動シリンダが生産性向上を可能にします。 |
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＜特徴・機能＞
・サセプター用エア駆動シリンダを電動駆動へ変更
・多段制御により約10秒/枚の動作短縮が可能です。
（試算：月産10,000枚/systemの場合、28時間/月の短縮）
・動作中の振動を最大62%低減します。
・既存信号を利用した、簡単取り付け。
・ティーチペンダントによる速度、位置の簡単設定。
・動作精度：＋－0.001mm |
| 高温炉内1200Cプロセスの様子を確認可能になりました。 |
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<キット内容>
・7インチLCD
・1TB HDD
・取付ブラケット
・CCDカメラ
・冷却シース
・専用ケース
・マニュアル
<特徴・機能>
・専用ケースにより持ち運びが可能
・既存ポートを利用した簡単取り付け
・PC接続でローカル確認も可能
・ハードディスク録画
高画質モード：2,520hr
標準モード：5,260hr |
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| 生産機を停止すること無く、予備品の動作確認が可能です。 |
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＜キット内容＞
・コントロールボックス
・専用スタンド
安定保持でメンテナンスも容易になります。
・リークチェック
・キット
・偏芯チェック
・キット
＜Features＞
・200mm、300mm兼用
・簡単タッチパネル操作
・リフト上下動作確認
・ホーミング動作確認
・動作確度の表示
・連続動作シーケンス機能
・加圧リークチェック機能
・レーザー信号による偏芯確認機能 |
| 希少なCRTの在庫確保や高価な修理費に悩むことはもうありません。 |
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＜概要＞
・LCD15"タッチモニター
・設置方法
Through The Wall
Stand Alone
＜特徴・機能＞
・簡単に既存CRTとの交換が可能です。
・CRTライトペンと同様のライトペン操作とタッチペン操作の二通りの操作を選択できます。
・ブラケット取替のみでThrough The Wall設置、Stand Alone設置に対応します。
・CRTに比べ72%の消費電力の低減が可能です。
＜標準アクセサリー＞
・ACアダプター
・TTW用ブラケット
・タッチペン[Light pen]
＜オプションアクセサリー＞
・調整用コントローラー |
| バッチ炉の延命、拡張を可能にします。 |
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＜特徴・機能＞
・対象機：AMC7810/20、P-7700ML/AL
・標準コネクター互換
・ヘルプ機能搭載
・信号ロギング、SPC機能
・ユーザーI/O信号追加可能
・ガスパネル系統図動作表示
C-Cubeはサポートが困難になった標準コントローラーを代替え、拡張するコントローラーです。多機能なデータ管理や使いやすいインターフェイスで数々のユーザー様でご使用頂いております。 |
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