Demonstration エピ装置購入前のプロセス検証が可能
Development プロセス品質改善やハードウェア改善を行います。その他、ご要望に合わせ様々なプロセスに対応。（Thick Epi、Selective Epi、etc）
Unique Process ご要望に合わせ様々なプロセスの現地サポートや、成膜サービスを提供。（小口径エピ、Ⅲ-Vエピ、etc）
Capability ・Centura RP/ATM ・7700ATM ・Heat up to 1200C ・Epi thick：～150μm ・Gas：N2、H2、HCL、TCS、DCS、B2H6、PH3 ・LPD、C-V、SRP、SPV、4PP、FTIR、Micro Scope ・Altasight Macro Inspection ・Wafer RCA cleaning
